检测标准：

ASTM D4453-2011 超纯水试样处理规程

ASTM D5127-2007 电子和半导体工业用超纯水的指南

ASTM D7980-2015 对半导体工业中超纯水瞬时样品阴离子进行离子色谱分析的指南

JIS K0550-1994 超纯水中细菌数的试验方法

JIS KO551-1994 超纯水中总有机炭(TOC)的试验方法

JIS K0552-1994 超纯水中电导率的试验方法

JIS K0553-2002 超纯水中金属元素的试验方法

JIS KO554-1995 超纯水中微粒子测定方法

JIS KO555-1995 超纯水中二氧化硅的试验方法

JS KO556-1995 超纯水中阴离子的试验方法